无油真空泵的类型及原理

　　真空泵是一种提供真空环境的工业动设备，从做功介质来分，可分为传统真空泵与无油真空泵。无油真空泵又可分为几类：

　1、干式真空泵：干式真空泵指泵腔内不适用任何油类和液体，能直排大气的真空泵，如爪式泵、往复式活塞泵、螺杆式泵、无油旋片泵等。

　　爪式无油真空泵属于变容式真空泵，而且采用多级爪式转子串联，因此能长时间保持压缩比、转速及动平衡。爪式泵由于沿轴向逆流少，压缩比在高压区较高。爪式泵的吸排气口设置在泵腔端壁上，多级连接方便，且气道流畅。爪型真空泵抽气过程分为四个冲程，由一对共轭反向运转的爪形转子进行连续不断的吸排气做功。

　　螺杆泵，其工作原理类似螺杆式压缩机，由一对矩形断面的左螺旋和右螺旋的一对转子想啮合。螺杆式真空泵的抽气过程分吸气、压缩开始、压缩开始、压缩结束、排气四个过程。

　　无油旋片泵，工作原理与旋片泵基本相同，选片材料采用自润滑材质，如石墨。同时，为减少气体泄漏，一般无油旋片泵都采用多个旋片结构。

　2、罗茨式真空泵：罗茨式真空泵利用两个8字形转子在泵壳内旋转进行抽真空，一般用作增压真空泵，其原理类似罗茨鼓风机。

　　罗茨式真空泵又分为普通型与直排大气型。普通型罗茨真空泵需要与前级机械泵直连排入大气；而直排大气型罗茨式真空泵则不需要连接前级机械泵。

　3、无油往复真空泵：往复真空泵利用活塞在气缸内部做往复直线运动进行抽真空，而活塞由曲柄连杆机构通过电机驱动。无油往复真空泵采用自润滑材料，活塞环、密封环以及气缸内无需添加润滑油，实现腔体内部无油化。另外，在气缸与机体之间加设隔油腔，进一步防止了机体内的润滑油泄漏进入气缸，防止泵腔被油污污染。

　4、涡轮分子泵：涡轮分子泵是依靠高速转动的转子携带气体分子获得超高真空的机械泵。分子泵主要分为超高真空泵和高真空泵，不能直排大气，也需要直连机械前级泵。